该晶圆手工我们属于西北的地区,主要是生孩子84英寸半导体器件晶圆,单日化工废水尾气排放量规范量约800吨。是由于生孩子的过程 中的使用许多氢佛酸确定晶圆蚀刻,造成 化工废底层的水中氟化物氧化还原电位可高达200-300mg/L,远超欧洲国家尾气排放量规范规范(10mg/L左右)。
焦化废水材料及种类
废渣包括来自于这几个各个环节:
晶圆蚀刻工艺流程
:含高密度氟化物(HF)、硝酸银及少许巨资属
化学上的厂家拋光(CMP)电镀废水
:含nm级硅粉末、生物碳络合剂
专用设备洁净工业废水
:含异丙醇、氟化物等有机酸物
处里流程步骤流程步骤
主要包括"物理乳浊液+水泥混凝土乳浊液+深入活性炭过滤"三級外理系统化:
一个加工处理
:加药氯化钙和氢氧化的钙,养成氟化钙沉淀出的,氟化物弄掉率达85%
一级净化处理
:放入PAC(配位碱式氯化铝)和PAM(聚乙烯酰胺),清除固体态严重污物
两级清理
:凭借多物料过滤装置器和活性氧炭树脂吸附,留水氟化物渗透压维持在8mg/L下类
重点环保设备也包括:pH自動调低系统性、斜管凝固池、板框过滤机(污泥处理脱水现象)。
终究感觉
新项目工作三年期监测参数参数现示:
氟化物峰值氧化还原电位:7.2mg/L(不低于欧洲国家原则)
COD避开率:92%
活性污泥水分含量率:≤65%
年回收处理氟化钙副新产品约150吨,保证 的综合采取采取