半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导体设备高端大气公测设备配套涉重化工废水——MVR强迫不断循环零排业务
項目大环境
半导精致测封工程工程,大规模150万立米/天,是率先半导测封匹配涉重生活污水零排工程工程。测封部分的镀镍、镀铜、引线架构图除垢会引发含镍含铜生活污水,物流园区规范"无尾水外排",产水其他回收于产线。
水的质量共同点与关键点
废渣以含镍相结合(氨水浓度10–100毫克/升),伴进样器铜、锌,pH冲击大(2–12),还有光刻胶存留的极富有机化学物。测封厂场所紧,让加工处理措施占地面小;零排暗示着浓水未能土石方工程非常多,必需本地网蒸馏析出闭环控制。
进行处工院艺行车路线
整体的走"分质收藏 → 预治理 除杂 → 化学上积累除镍 → 吸附 → UF+两极RO → MVR禁止间歇蒸发掉 → 冷凝剂水回收利用":
含镍线先调pH到10–11,加药系统氢防氧化的钠添加Ni(OH)₂积淀,再加上加硫橡胶钠深度.捕集器残留镍(加硫橡胶镍Ksp比氢防氧化的镍更小,就可以把镍压到0.1毫克/升以內);
积淀喷水经多导电介质过滤器水+物业保安过滤器水后进UF,再进1阶段RO,产水之间回产线洁净;
RO浓水(含盐+残留物巨资属)进MVR強制性再再循环汽化器,強制性再再循环能扛高含盐积垢,汽化器自代网上冲洗,不要堵;
MVR冷凝水水到使用地下室集水井,蒸馏残液委外焚烧炉或作为一个危废处理治理,一部分车间无液态氨外排。
核心机器设备优点有哪些表明
MVR强制性重复想必传统的降膜减压蒸馏掉,重复风速高、热传导面不可结镍盐/碳酸盐垢,好公测这般"水流量往往并不大但水质标准杂"的情境;集成化撬装构思征占比传统的减压蒸馏掉塘+多效减压蒸馏掉措施小60%上面的;废气侧生活配套生物工程滤池,把调试池和污泥处理间的废气抽取后生物降解成CO₂和水,预防公测厂毗邻办公楼区的刺鼻味道匿名举报。
治疗结果与效用
冒水镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,好于《真空镀膜感染物排放标准量标准单位》表三;完全150立方米/天产水循环于测封产线难以清理,代换等量新鲜度水;危险废弃物(多效蒸发残液+生活污水)量比常用"结晶+排放标准量"模式切换减约70%。对富士康侧,测封活动坏保许可卡点刻上通;